数十年来,Advanced Energy 的 Crystal 系列低频交流电源一直是大面积玻璃镀膜应用领域的标杆产品。然而,随着现代工艺对控制精度和通信速度提出更高要求,采用 Advanced Energy Ascent® 产品系列替代 Crystal 系列,无疑是顺应技术发展趋势的明智之选。Ascent® 系列脉冲和直流电源系统效率更高,电弧管理更为精准。该系列产品具备先进的监控能力,采用...
在高温制造工艺中,精准控制对于实现品质和良率最大化至关重要。以半导体外延工艺为例,如果无法精准测量工艺变化并及时响应,可能会导致晶体生长质量下降,从而影响晶体的可靠性、性能表现以及整体生产良率。半导体外延工艺在半导体制造中,外延是一种在单晶衬底上生长单晶层的工艺技术。外延对温度极为敏感,它直接影响着外延层的晶体结构和质量。在常见的半导体外延工艺中,如有机金属化学气相沉积(MOCVD)和灯丝加...
射频电源产品作为 AE 的王牌产品,始终以卓越表现与精准控制著称。如今,Opti™ 射频电源机架也以实力加入其中。Opti™射频电源机架是一款现代化解决方案,专为使用高密度等离子体化学气相沉积(HDP/CVD)设备的200 mm半导体晶圆厂打造。该系统采用高性能射频电源,并集成实时数据采集功能,为监控射频电源健康状况和优化工艺提供所需的智能化支持。Opti™ RF Power Rack特 ...